净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高1效空气过滤器代高1效空气过滤器。
空气过滤器的选用布1高1效空气过滤器或亚高1效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，连云港车间净化，高1效空气过滤的安装方式应简便---，宜检漏和更换；中效、亚高1效、高1效空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的高1效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
确定集中或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。
净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高1效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。
送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，光伏车间净化，中效、高1效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。
净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量---且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。
净化工程中使用的惯性除尘器 为了---重力沉降室的除尘效果，电子车间净化，可在其中设置各种形式挡板.利用尘粒的惯性使其和挡板发生碰撞而捕集，这种除尘器称为惯性除尘器。惯性除尘器的结构形式分为碰撞式和回转式两类。气流在掩击或方向转变前速度愈高，方向转变的曲率半径愈小，则除尘效率愈高。
百叶窗式分离器也是一种惯性除尘器。含尘气流进人锥形的百叶窗分离器后，大部分气体从栅条之间缝隙流出。气流绕出栅条时突然改变方向，通讯车间净化，尘粒由于自身的惯性继续保持直线运动.随部分气流(约5一20％)一起进入下部灰斗，在重力和惯性力作用下，尘拉在灰斗中分离。百叶窗分离器的主要优点是外形尺寸小.阻力比旋风除尘器小。
惯性除尘器主要用于捕集20~30μm以上的粗大尘粒，常用作净化工程中多级除尘器的di一级除尘。
光学微电子净化工程结构材料
1、净化厂房墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强，圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地坪或高1级耐磨塑
3、送回风管道用热镀锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型pf发泡塑胶板。
4、高1效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
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