扩散炉炉体 LPCVD改造 设备翻新

青岛赛尔微电子有限公司为您提供扩散炉炉体 lpcvd改造 设备翻新。炉体主要用于半导体、功率器件、集成电路等行业中管式扩散炉的加热装置，采用---的加工工艺，并选用进口材料，制作而成。可与美国tempress、美国tyan、美国thermco、荷兰asm、英国btu、日本tel等国外多种型号扩散炉配套替代进口，
炉体技术指标
1.1满足3"～12"立式、卧式扩散炉
1.2保温材料：英国摩根进口保温层
1.3绝缘材料：高纯99瓷绝缘子
1.4端口：真空成型保温材料
1.5加热段数：3～7段加热
1.6口径：φ80mm～φ450mm
1.7使用温度：200℃～1300℃
1.8恒温区：100～1200mm
1.9单点稳定性: ≦±0.5℃／24h

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