苏州深铂维温控设备有限公司为您提供tcwafer . .。苏州深铂维温控设备有限公司为您提供tcwafer。台湾菘启工业有限公司设计和制造温度测量解决方案,为您提供灵敏度、快速响应和一致的精度。台湾菘启工业有限工公司致力于以的技术服务及时提供其---的wafer晶圆解决方案。
tc wafer则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及---周期等!温度的均匀与否,良率
温度范围:
低温:-150 to 700°c硅基胶粘剂
高度:-150 to 1,200°c焊接设计
热电偶选型:
● type k (精度级别±1.1°c/0.4%) ,温度范围 -270 to 1,372°c
● type n (精度级别±1.1°c/0.4%), 温度范围 -270 to 1,300°c
● type e (精度级别±1.0°c/0.4%) ,温度范围 -270 to 1,000°c
● type t (精度级别±0.5°c/0.4%) ,温度范围 -270 to 400°c
● type r/s (精度级别±1.5°c/0.25%) ,温度范围 -50 to 1,768°c
晶圆材质:
硅、altic、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客户提供的白板的、涂层的或图案基底。可按客户要求定制基板、形状和尺寸。
主要规格:
4寸,6寸,8寸,12寸
扩展线:可绝缘层材质,接头类型。密封的聚酰扁平电缆,可在---中打到10-7托。长度有客户
传感器引线:长达40英尺–可定制,
被覆材质:石英 陶瓷纤维 tef
绝缘材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰
线规:20 awg – 40 awg
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