北京高纯供气系统生产厂家,艾明坷公司
大宗特气供气系统主要针对-量产的8-12英寸1英寸=25.4毫米 -规模集成电路厂气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等,100mw以上的太阳能电池生产线气体种类包括nh3,发光二极管的磊晶工序线气体种类包括nh3、5代以上液晶显示器工厂气体种类包括4、3、nf3、光纤气体种类包括sicl4、硅材料外延生产线气体种类包括hcl等行业。特气系统知识分享:一般混合气体由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。它们的投资规模-,采用1-的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
1特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。2、阀座检漏法采用阀门上游充-气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。全自动气柜维护自动化程度较高,并且安全-。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,-气柜各管路与阀门吹扫干净。
2管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫n2purge,一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。不应在封闭空间内用惰性气体如氮气、-等进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12psi,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器pt受温度的影响,一般有2psi的正负波动。
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所谓标准气体就是用来校正测量仪器、评价测定方法、给出未知样品气标准值的气体。它分为调整零位用标准气体(零位气体)、监测环境用标准气、工业分析用标准气体、医1疗仪器用标准气体、可燃性气体泄漏用标准气体、燃烧器尾气用标准气体六大类。艾明坷科技有限公司致力于手套箱、溶剂净化等行业技术服务,艾明坷竭诚为您服务。由于使用了标准气,所以即使在不同场所测定,也具有相同测定值。
标准气体应用范围很广,在化工、石油冶金、机械、航天、电子、陶瓷、汽车、光纤、激光、潜水、、切割、焊接、食品加工等工业部门均使用大量的常用气体和特种气体。其中在石油化工领域对标准气体的需求量相对较大。
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