-离子束刻蚀机生产厂家品牌企业
湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程,是指利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而达到刻蚀目的。其特点是:湿法刻蚀在半导体工艺中有着广泛应用:磨片、抛光、清洗、腐蚀优点是选择性好、重复性好、生产-、设备简单、成本低。
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普通的刻蚀过程大致如下:先在表面涂敷一层光致抗蚀剂,然后透过掩模对抗蚀剂层进行选择性-,由于抗蚀剂层的已-部分和未-部分在显影液中溶解速度不同,经过显---在衬底表面留下了抗蚀剂图形,以此为掩模就可对衬底表面进行选择性腐蚀。如果衬底表面存在介质或金属层,则选择腐蚀以后,图形就转移到介质或金属层上。
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离子束刻蚀是从工件上去除材料,是一个撞击溅射过程。
当离子束轰击工件,入射离子与靶原子碰撞时将动能传递给靶原子,使其获得的能量超过原,子的结合能,导致靶原子发生溅射,从工件表,面溅射出来,以达到刻蚀的目的。
刻蚀加工时,对离子入射能量、束流大小、离子入射角度以及工作室压力都需要根据不同的加工需求进行调整。
离子束刻蚀可以在-加工、表面抛光、石英晶体谐振器制作等方面得到应用。
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