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连云港玻璃板价格合理 光刻板

发布者:苏州优版光电有限公司  时间:2020-6-2 






公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服务!


掩膜板是光刻图形的基准和蓝本,掩膜板上:的任何缺陷都会对终图形精度产生---的影响。所以掩膜板必须保持“完关”。

使用掩膜板存在许多损伤来源:掩膜板掉铬:表面擦伤,需要轻拿轻放:静电放电(esd),在掩膜板夹子.上需要连一根导线到金属桌面,将产生的静电导出。另外,不能用手触摸掩膜板:灰尘颗粒,在掩膜板盒打开的情况下,不准进出掩膜板室(mask room),在存取掩膜板时室内保持2人。






应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造。(顺便提一下,通常讲的菲林即film,底片或胶片的意思,感光为微小晶体颗粒)。



光刻机的结构和工作原理:

  光刻机的光源有:激光,紫外光、深紫外光、极紫外光。现在---技术是极紫外光。

  下图是以激光为光源的光刻机简易工作原理图:

  在制造芯片时,首先在晶圆硅晶片表面涂光感胶,再用光线透过掩模版相当于芯片电路图纸的底片照射硅片表面,被光线照射到的光感胶会发生反应。此后用特定溶剂洗去被照射或者未被照射的胶,电路图就印到硅片上。

  此过程相当于木匠施工用墨斗放样、划线。

  硅片上有了电路图的图样后,就轮到刻蚀机登场,刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工,在硅片表面雕刻出晶体管和电路。





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