高纯气体公司-
氮气、
凡需进入处理(检查或检修)的设备,经氮气吹扫、置换合格后,还必须用空气进行吹扫、置换,并经气体检测把关。其中气体检测取样分析要有代表性,设备容积较大时要对上、中、下各部位取样分析,应---设备内部任何部位的含氧量和可燃气体浓度同时合格(当可燃气体燃爆---大于4%时,指标为小于0.5燃爆---小于4%时,指标为小于0.1;氧含量19.5一23.5%为合格)。注意对设备内部容易积聚或死角的地方进行吹扫、置换。用空气吹扫、置换前,必须关闭氮气阀门,拆除连接管线或加盲板隔离。
勿需进人处理(检查或检修)的设备,经氮气吹扫、置换合格后,关闭氮气阀门,拆除连接管线,系统泻压后,才可进行拆卸或检修。在有氮气危险,可能使周围环境缺氧的地方,应采取合适的预防措施,如配备呼吸设备或氧气检测仪等.?
高纯管道在高纯气体输送中的意义
常见
电子行业中常见气体的分类:/ c9 a7 q6 a& p$ e, [& |; f3 o
普通气体,也称大宗气体 bulk gas :氢气h2、氮气n2、氧气o2、氩气a2等
特种气体spe---lty gas 主要有 sih4 ph3 b2h6 a8h3 cl hcl cf4 nh3pocl3 sih2cl2 sihcl3 nh3 bcl3 sif4 clf3 co c2f6 n2o f2 hf hbr sf6……等等
高纯气体管道配管及附件材料的选择要点
高纯度气体由管道输送,能否将
高纯气体管道输送管道,要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同,采用相应的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细,它不仅要求有洁净的生产环境,而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求,从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于0.35g.m)技术,对气体中的杂质含量、水含量要求---严格,10 -6(ppm级)已经不能达到要求,需要达到10-9(ppb级),甚至10-12(ppt级)。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、纯气体的要求成为必须。
目前工业制
1.分馏法:利用每种气体的沸点和凝点不同,通过反复蒸馏就可以剔除杂质获取粗---混合气。
2.吸附法:使用不同的固定吸附剂,利用不同组分的气体吸附能力不同的原理将---气分离出来。
3.-矿石法:将含有---气的-矿石通过焙烧分离,再经过处理得到---气,过程中会除去水分、氢气、---等杂质。
4.空分法:利用空分原理,从------混合气中提纯---气。
5.吸收法:在一定条件下通过合适的吸收溶剂,将沸点比---气高的然气中的其他气体吸收去除,从而获得---气。
6.扩散法:---气的高导热性大家都知道,利用极细的石英玻璃管扩散提取---气也具有可行性。
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