珠海CF50高温束源炉定做择优 沈阳鹏程真空技术公司

cf35高温束源炉

 为mbe蒸发或升华不同元素和化合物设计的，例如典型的iii/v族al，ga或in等mbe材料，温度范围在700到1400℃。主要用于薄膜生长和样品制备，但是也可以当作掺杂源(如si或be掺杂)使用。 标准灯丝，热唇灯丝，冷唇灯丝和双灯丝加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。每个灯丝套件是由pbn陶瓷环做支撑钽丝缠绕而成的。从靶结构---为:圆形平面靶/柱状靶/矩形靶/常规圆形平面靶规格:1。这种绕线式加热器理念---了坩埚内

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高温束源炉技术特征

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高温束源炉，包括机架，其特征在于，包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆，本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝，坩埚上设置有所述加热丝，坩埚的外侧设置有屏蔽层，底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件，冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通，电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。套管与电极使用紫铜卡箍在设备上冷挤压紧固，密封性好，不易漏水。

加热样品台的设计原理

设计原理为：将样品槽设置在中空腔中，中空腔中通入热空气对样品槽进行加热，从而对样品进行传热加热，而随着热空气装置不断向中空腔中通入空气，中空腔中的压力会增大，从而通过泄压口向气管排气，排出的气体会通过气管到达多孔头，从而对样品容器通入热空气，一方面热空气对样品容器中的样品进行加热，另一方面还能起到空气搅拌的作用。标准灯丝，热唇灯丝，冷唇灯丝和双灯丝加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。

热空气装置包括空压机、加热箱和管道，空压机通过所述管道与所述加热箱连通，加热箱通过管道与所述中空腔连通，空压机产生的空气通过管道进入到加热箱中进行加热，并经管道通入到中空腔中。

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靶材的应用领域

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产磁控靶产品，欢迎新老客户莅临。

1 :微电子领域

2 :平面显示器用靶材

3 :存储技术用靶材

溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀等行业。