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真空泵的特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;(2)转子具有-的几何对称性,故振动小,运转平稳。真空泵真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大-低驱动功率,从而可实现较高转速;(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
式螺杆真空泵:它是一种不用油类或液体密封的变容真空泵。
液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体通常为水或油抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。
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