上海有机无机联合蒸发镀膜机批发

300d三源有机蒸发镀膜机

主要用途：

-适合opv/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。

系统组成:

主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。

技术指标：

---真空度6.7×10-5pa，系统漏率：1×10-7pal/s； 恢复真空时间：40分钟可达6.6×10 pa短时间暴露 -并充干燥氮气后开始抽气

样品台：尺寸为4英寸平面样品；

蒸发源：3套

4套挡板系统：挡板共有3套，动密封手动控制；

气路系统:流量控制器1路

石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?

可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统

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多源蒸发系统介绍

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系统主要用来生长el oel分子有机电致发光器件薄膜的研究工作　　

该类设备为双室带手套箱结构的有机、无机、多源有机、无机气相分子沉积设备，采用直线式结构，由一个金属材料生长、氧化物生长室、一个有机材料生长室和一个手套箱组成，金属材料生长和氧化物生长室以及进样室/氧化物生长室之间通过空气锁联接，样品通过带远程手控盒功能的电动磁力耦合装置在两个生长室之间手动传递。可选手套箱。parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它-酸、碱和溶剂，对水汽和盐雾等-环境有较好的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供-的防护。　　

钙钛矿镀膜机介绍

主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、oled等研究领域。钙钛矿镀膜机工作过程中样品位于真空室上方，蒸发源位于真空室下方，向上蒸发镀膜，且蒸发源带有挡板装置，防止蒸发源被污染。其工艺过程如下：首先固态的派瑞林原料在蒸发腔内随着温度的升高逐渐吸热升华。

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