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洁净室净化工程

合理布置空间面积 合理布局首先要理顺工艺流程，避免迂回往返。工作室的平面空间应合理，既有利于操作，又便于维修，不应预留闲置面积和空间。合理的空间与面积，也有利于合理的分区，防止混杂事故。 应该引起注意的是：洁净室并非越大越好，面积和空间的大小关系着送风量的多少，决定着空调能耗的大小，影响工程的投资。物理净化方法1吸附过滤即活性炭：活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构，活性炭的多孔结构为其提供大量的表面积，能与气体杂质完全接触，这使得活性炭具有吸附性能，很容易达到吸收和收集杂质的目的。但洁净室的空间面积也不可太小，太小可能不便于操作、维修。

如何控制无尘洁净室的温度湿度？

湿度过高发生的问题更多，相对湿度-55%时，冷却水管壁上会结露，假如发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密，所以对温度波动规模的要求越来越小。除了在生产领域，净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合，为人们提供更洁净的生活空间。例如在-集成电路出产的光刻---工艺中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。

 地面可采用环氧自流坪地坪或高1级耐磨塑料地板，有防静电要求的，要选用防静电型。送回风管道一般用镀锌钢板，不宜选用玻璃棉类材料保温。照明应选用净化车间-灯具。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。环境科学技术研讨所标准14644-1供应了不同的洁净度等级(1、10、100、1000、10000、100000)和不同粒径颗粒的允许数量。在实际施工中，净化项目通常分为，分工和分时。 这种安排有利于各种和工作类型的管理。 但是，易于进行多尘和无尘的交叉操作，应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免，应该防止灰尘和有效清洁。

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