武汉等离子体技术研究所电话【丰热科技】

湖北丰热科技有限公司原武汉离子热处理研究所，制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

离子渗氮是在低真空含氮气氛中，利用模具阴极和阳极之间产生的辉光放电进行渗氮的工艺，与气体渗氮相比工作环境好。由于离子氮化法不是依靠化学反应作用，而是利用离子化了的含氮气体进行氮化处理，所以工作环境十分清洁而无需防止公害的-没备。因而，离子氮化法也被称作“绿色”氮化法。56mhz)辉光放电离子体中形成非对称放电，面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压，并能产生溅射。

辉光放电的主要应用是利用其发光效应如霓虹灯、日光灯以及正常辉光放电的稳压效应。在阴-阳极间加上直流电压时，腔体内工作气体中剩余的电子和离子在电场的作用下作定向运动，于是电流从零开始增加；辉光放电的主要应用是利用其发光效应如霓虹灯、日光灯以及正常辉光放电的稳压效应。当极间电压足够大时，所有的带电离子都可以到达各自电极，这时电流达到某一1大值(即饱和值);??

双极性脉冲中频靶电源一般带孪生靶或双靶运行。两个靶的工作电压极性相反同时又不断互换极性，电压极性为负时的磁控靶发生溅射，极性为正时的那个磁控靶不产生溅射。??由于阴阳极间电场正负极性来回变化，使电子路径延长，与工作气体碰撞次数增加，故单个磁控靶承载同样功率(其它真空环境条件相同)时，选用双极脉冲中频靶电源比用纯直流靶电源和脉冲直流中频靶电源时，工作气体的离化几率和靶材的沉积速率均要高一些。??磁控靶阴极电压极性为负时，其单脉冲气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律(趋势)相符。?电容耦合型射频(rf)放电电极自给偏压的形成，可以防止绝缘层表面正电荷的积累，有助于射频放电的维持。??

1933年德国von engel首1次---了研究结果 ，利用冷却的裸电极在-压氢气和空气中实现了辉光放电，但它很容易过渡到电弧，并且必须在低气压下点燃，即离不开真空系统。1988年，kanazawa等人---了在-压下使用---气获得了稳定的apgd的研究成果，并通过实验总结出了产生apgd要满足的三个条件：1激励源频率需在1khz以上；2需要双介质dbd；??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1。3必须使用---气气体。此后，日本的okazaki、法国的massines和美国的roth研究小组分别采用dbd的方法，用不同频率的电源和介质，在一些气体和气体混合物中宣称实现了-压下“apgd”。