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湖北丰热科技有限公司原武汉离子热处理研究所,---制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光离子渗氮的特点有:可节约能源和氨的消耗量,电能消耗为气体氮化的1/2~1/5,氨气消耗为气体氮化的1/5~1/20。1988年,kanazawa等人---了在---压下使用---气获得了稳定的apgd的研究成果,并通过实验总结出了产生apgd要满足的三个条件:1激励源频率需在1khz以上。易于实现局部氮化,只要设法使不欲氮化的部分不产生辉光即可1,非渗氮部位便于保护,采用机械屏蔽、用铁板隔断辉光,即可保护。
在射频辉光放电空间中,高频电子震荡已能产生---的工作气体电离,对二次电子发射的依耐性减少了。脉冲直流靶电源在脉冲期间起辉溅射,在脉冲间隙自然灭辉(因频率较高,肉眼难以分辨)。射频磁控溅射气体放电时等离子阻抗低,工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。??
法国的massines小组、加拿大的radu小组和俄罗斯的golubovskii小组对apgd的形成机理也进行了比较深入的研究工作。其余暗区和辉区的形成也主要取决于电子到达该区的动能以及气体的压强电子与气体分子的非弹性碰撞会失去动能。massines小组对---气和氮气的apgd进行了实验研究和数值模拟 ,除了测量外加电压和放电电流之外,他们用---时间仅10ns的iccd相机拍摄了时间分辨的放电图像,用时空分辨的光谱测量---了放电等离子体的发射光谱,并结合放电过程的一维数值模拟,他们认为,氮气中的均匀放电仍属于汤森放电,而---气中均匀放电才是------的辉光放电,或亚辉光放电。他们还认为,得到---压下均匀放电的关键是在较低电场下缓慢发展大量的电子雪崩。
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