伯东考夫曼射频离子源RFICP220用于修正 CGH基底

计算全息图 cgh 作为零位补偿器广泛应用于---非球面的检测, 但 cgh 的基底误差直接 了非球面的检测精度. 某制造商为了获得超---的 cgh 基底, 采用 kri 考夫曼射频离子源 rficp220 产生的离子束用于修正--- cgh 基底的加工工艺.


伯东 kri 射频离子源 rficp 220 技术参数:

portant;"> 离子源型号

portant;"> rficp 220

portant;"> discharge

portant;"> rficp 射频

portant;"> 离子束流

portant;"> >800 ma

portant;"> 离子动能

portant;"> 100-1200 v

portant;"> 栅极直径

portant;"> 20 cm φ

portant;"> 离子束

portant;"> -, 平行, 散射

portant;"> 流量

portant;"> 10-40 sccm

portant;"> 通气

portant;"> ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他

portant;"> 典型压力

portant;"> < 0.5m torr

portant;"> 长度

portant;"> 30 cm

portant;"> 直径

portant;"> 41 cm

portant;"> 中和器

portant;"> lfn 2000

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量





运行结果：

1. kri 考夫曼射频离子源 rficp220 产生的离子束修正工艺作为一种非接触式确定性光学加工方法, 不仅不会对元件表面施加作用力, 而且还具有加工精度高、去除函数稳定、面形收敛速度快、无边缘效应和亚表面损伤等特点, 非常适用于--- cgh 基底的加工.

2. 应用离子束修正--- cgh 基底的加工工艺具有较大优势, 不仅具有较高的加工效率而且可以获得的加工精度









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