伯东KRI考夫曼射频离子源RFICP140 用于清洗继电器

电子元器件-继电器在生产过程中由于手印、焊剂、交叉污染、自然氧化等, 其表面会形成各种玷污, 影响电子元器件在生产过程中的相关工艺, 例如继电器的接触电阻, 从而降低了电子元器件的---性和成品合格率.



某制造商为了提高电子元器件-继电器的---性和成品合格率, 采用伯东 kri 考夫曼射频离子源 rficp140 对继电器进行离子束清洗.



伯东 kri考夫曼射频离子源 rficp140 技术参数:

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型号

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rficp 140

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discharge

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rficp 射频

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离子束流

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>;600 ma

portant;">;
离子动能

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100-1200 v

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栅极直径

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14 cm φ

portant;">;
离子束

portant;">;
---, 平行, 散射

portant;">;
流量

portant;">;
5-30 sccm

portant;">;
通气

portant;">;
ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他

portant;">;
典型压力

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< 0.5m torr

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长度

portant;">;
24.6 cm

portant;">;
直径

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24.6 cm

portant;">;
中和器

portant;">;
lfn 2000





该制造商通入氩气, 利用 kri 考夫曼射频离子源 rficp140 电离氩气产生氩离子, 形成氩离子束对样品进行轰击, 以溅射刻蚀, 从而达到清洗的效果.



氩离子优点是不会产生氧化副产物, 可以保持被清洗物的化学纯净性.



运行结果：



通过清洗前后接触电阻测试记录可以看出, 清洗后不合格产品数大幅降低, 因此采用kri 考夫曼射频离子源 rficp140清洗可以有效地降低继电器的接触电阻, 从而提高产品的合格率.




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