气体管路施工技术要求及验收标准?
技术要求
(1)总体设计:管道采用1/4”外径,经过ap处理的---级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌,在使用仪器的附近接气体考克。
(2)管路设计、规划要点:
气体管路系统应具有---的气密性,---性,可维护性。
1、气瓶阀出口为gb标准的外螺纹形式,为了便于管路系统与气瓶连接,故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。
2、为了方便更换气瓶,从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。
3、由于气瓶内部的气体压力为150bar左右,使用点的压力较小,气体压力有变化,而且数值差距较大,故应在气瓶出口处设置一级减压阀(双表头)。
4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切---气的装置—开关阀,为了开关系统的方便和快捷,本项目中开关阀采用球阀。
5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性,所有管道采用进口316l不锈钢管道,内表面按规定处理。
6、管道与阀件的连接,管道与管道的连接应---系统的气密性,同时要便于维修及更换阀件。
7、管道固定件要求坚固,轻巧,---。
配管的准备工作
(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管,下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料,分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。
(2)管子切口应当与管轴线严格垂直,切口表面平整,不得有裂纹、毛刺。
(3)各种阀门应在安装前清洗,清洗前先应研磨、试压合格,然后拆成零部件,并在ccl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。
(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门,应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂,并使溶剂流经阀门各处,阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。
(5)采用普通不锈钢管时,其表面若粘附有油污,安装后清洗十分困难,应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作,必须---清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。
(6)氧气管路的阀门、附件等,应当严格禁油,并在安装前按有关要求严格脱脂。
3.金属管道的连接
(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:
1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。
2)铜管。在半导体企业中,个别生产工艺如gaas的操作,为了防止产生器件电阻,不允许使用铜制管路及其附件,只能使用不锈钢材料。
气路系统百科知识
气路系统主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体,如氢气、乙i炔等,可能在设计和施工过程中稍有差异,必须加入气体回火防止器等安全控制装置。
概述;
在现代化的实验室中,为了完成实验,需要用到多种分析仪器,如气相色谱仪,原子吸收,气—质联用仪,icp等等,其中这些仪器需要用到高纯气体,传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式,这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用,但随着近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难,为了解决以上两个方面的问题,就需要一套安全性高且能实现集中分配供气的系统完成从气源向仪器的供气,这就是实验室高纯气体管道系统的功能所在。给水或其他液体管道在i高点设有排气装置,排除积存在管道内的空气或其他气体,以防止气阻造成运行失常。
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