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检漏仪的日常维护

离子源维护

在对离子源作维护之前， 必须将检漏仪的主电源插头拔下。

1 拆卸vhs放大器。将vhs放大器和离子源的电源接头卸下， 用内六角扳子拧下两个紧固螺钉， 拆下vhs 放大器，将vhs 放大器头朝下，放置在清洁处，注意防尘。

2 清洗离子源底座。拧下6个螺钉，然后小心地把底座法兰垂直地提起来，接着用酒精清洗密封面。完成以上工作后，立即用密封圈模具将离子源开口盖住。

3 取下灯丝。拆下3 个紧固螺钉，取下灯丝。

4 拆下收集极。只要将两个紧固螺钉取下即可。

5 换新灯丝和收集极。先将收集极用两个紧固螺钉固定在离子源座上 不要将螺钉拧紧 。接着将新灯丝的两个接头插入接线柱内，此时不要拧紧两个连接螺钉。

6 部件的调整。灯丝织支撑架的两个安装面和其支撑座两个安装面紧贴上，拧紧紧固螺钉。调节收集极，使灯丝在左右方向位于收集极的中心收集极开口两边应有同样的圈数 ;继续调整收集极，使灯丝在垂直方向平行于收集极的开口，且处于开口的中央。拧紧收集极的两个紧固螺钉。拧紧灯丝的两个连接螺钉。

7 安装离子源和vhs放大器。仔细检查离子源的导向块上不要粘有其他物体，小心地将导向块慢慢地放入质谱室腔中，均匀拧紧6个螺钉即可。将vhs放大器仔细放在密封面上，均匀拧紧两个螺钉。然后，将vhs放大器和离子源的电线连接好。vhs 放大器、离子源等部件，对任何形式的污染及灰尘都十分敏感，在维护过程中必须---注意。