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真空机组的特点及分类

工作在10-5pa以上的真空机组有扩散泵、分子泵真空机组和无油真空机组.该机组有如下特点:

主泵---真空度高，在10-7~10-8pa以上;

能经受200~450℃的高温烘烤;

主泵返流气体的分压力很低;

对被抽气体选择性强的主泵，要配备足够大的辅助泵;

要求真空室、管道、阀门等部件的材料出气率很低，漏气率很小。

(1)扩散泵真空机组

以扩散泵为主泵的真空机组的---真空度为10-7~10-8pa。

为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对---真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。2真空机组未安装应急停止设备装置，在发生紧急情况时不能及时关停设备，导致事故扩大化。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11pa的真空。

(2)分子泵真空机组

以分子泵为主泵的真空机组其---真空度为10-8pa，特点是启动快，油的污染小。

在机组内增加液氮冷阱，可以增大抽速。机械泵出口处设有水冷阱，可以防止油蒸气进入系统。

(3)无油真空机组

不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到---真空度10-7~10-8pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:

可获得清洁真空、无污染源;

当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;

如突然抽气停止，不会污染系统;

无油、无声、无振动，---了工作环境;

---真空度高，抽速大，抽气时间短。

真空机组的工作原理

用于较高真空的真空泵(机械增压泵)不能直排---，如直排---会造成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如单纯加大罗茨真空泵电机功率又会造成罗茨真空泵过热以致罗茨真空泵转子之间的微小间隙很快因热膨胀而卡死。水喷射真空泵循环液经过石墨盘管冷却后，能保持在适宜的温度下运行，---水喷射真空泵的使用性能达到较佳的状态。为---罗茨真空泵能达到较高真空必须---罗茨真空泵转子之间的间隙。所以罗茨真空泵使用时必须设有前级泵，用前级泵将系统内压力抽至一定范围内时再启动罗茨真空泵，如此可以避免罗茨真空泵过载。前级泵可以选用水(液)环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵等可直排---的真空泵。

在一般情况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它能够抽除大量的可凝性蒸汽，---是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。

真空机组的构成与分类

真空机组一般由下列元件构成：各种真空泵；真空测量装置；真空阀门；真空管道和一些其它元件，例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。

按机组的工作压力分，有粗真空机组(>;1330pa)；低真空机组(1330~0.13pa)；高真空机组(0.13~1.3×10-6 pa)；真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11 pa)；---真空机组(<1.2×10-11 pa)。有些高真空抽气机组的扩散泵还配有前级维持泵或贮气罐,以防止气体压力波动,---机组的抽气性能。