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宁夏正压-质谱检漏仪品牌品牌企业「华诚浩达」

发布者:北京华诚浩达真空空压设备有限公司  时间:2021-8-5 






---质谱检漏仪的应用

---质谱检漏仪的行业应用,km6空间环模装置设备庞大,主真空室直径12m、高22m,另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3,分系统多,结构复杂,各种接口焊缝相加有几千米长,采用---质谱检漏仪负压检漏,每条焊缝由检漏盒密封,配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后,充入一定压力---气,关闭预抽阀,开启检漏阀。由于盒内---浓度较高,相对检漏仪又有一定压力,因此有效提高了检漏灵敏度。航天工业中,各类阀门、电子元器件,传感器等等都在广泛应用---质谱检漏仪及其检漏技术。






---质谱检漏仪是如何工作的?

---质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释---质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的---质谱检漏仪为例进行说明。

在质谱室的离子源n内,气体被电离成离子。在电场作用下离子---成束,并以一定的速度经由缝隙s1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压u使---离子束m2恰能通过缝隙s2到达收集极k而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于m2的离子束如图中m1,m3则以不同的偏转半径而被分开。








---质谱检漏仪的结构

---质谱检漏仪离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝(阴级)、离化室及离子加速极组成。

灯丝在真空中通电加热后发射电子,在离化室与灯丝之间的电场作用下,电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室,在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量,z后打到离化室上形成电子流,成为发射电流的一部分。电子在运动的过程中碰撞气体分子而使气体分子电离形成正离子,正离子在离化室与加速极之间的电压u(即离子加速电原)作用下,相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝,由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能,便形成具有一定能量的离子束。







背压法---质谱检漏的优缺点

背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。

背压法的检漏标准主要有qj3212-2005《---质谱背压检漏方法》、gjb360a-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》,主要应用于各种电子元器件产品检漏。







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