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冬季采用厂区锅炉热水供热
地板:车间内采用防静电型pvc地板,其中千级和百级车间采用防静电型架高钢板,其它为普通型pvc地板。pvc地板是当今上非常流行的一种新型轻体地面装饰材料,也称为“轻体地材”使用非常广泛,比如家庭、医院、学校、办公楼、工厂、公共场所、超市、商业等各种场所。暖通工程设备:空调制冷负荷:经统计计算,总冷负荷约500kw。采用恒温恒湿洁净空调,夏季采用磁悬浮水冷机组,冬季采用厂区锅炉热水供热。
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求-,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理
各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理,简称“物净”。物料净化路线与人净路线应分开,如果物料与人员只能在同一处进入洁净室,也必须分门而入,物料并先经过粗净化处理。对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。如果生产流水线很强,则采用直通式物料路线,有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。在系统设计上,物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒,所以相对洁净区应保持负压或零压,如果污染危险性大则对入口方向也要保持负压。
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