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-气检漏仪的工作原理是什么？

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让-离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，收集放大器收集-离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以一定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。

检漏仪使用中注意事项

检漏仪在使用过程中需-注意以下几点：

使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，-时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(ups)。

仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。

检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。

本文介绍了5 种检漏仪常见故障的分析与处理方法，其中仪器内部存在泄漏环节是一个易被忽视却又易产生故障的环节，当检漏部位的复检结果不一致时，就需检测仪器内部是否有漏。检漏仪内部结构紧凑，定位难度大，本文采用切断分子泵风扇电源和使用小流量喷枪的方式，提高了密封部位定位的能力。然后取出被检产品，将表面的残余-气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的-气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入-质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪是检漏工作的-部件，在使用过程中应严格按照说明书的操作要求进行使用。文中以上出现的故障、现象的处理方式是本单位在多年使用过程中的一个总结和归纳。对检漏-具有一定的参考价值。

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