真空镀膜系统-咨询 艾明坷科技公司

蒸发镀膜

一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于：

1、基片材料与靶材的晶格匹配程度

2、基片表面温度

3、蒸发功率，速率

4. 真空度

5. 镀膜时间，厚度大小

组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易-，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。

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真空镀膜设备的日常维护

真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品和生产进程等，为了使设备的运行状况-，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。

设备的维护要有日常维护和定期维护

1,日常维护就是在当天生产中发现设备有-迹象，就马上解决。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。发现机械泵的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间再维护，到时候可能泵的转子就会磨损-了。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它-的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等现象。

2定期维护，有人会问有了日常维护还有-定期维护吗?其实每一种设备都有自己的使用寿命，比如扩散泵用的的硅油，使用寿命为两年左右，我就规定1年半把它换掉，这样作是不是浪费，我觉得不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。其它化合物-锌zns，-znse，氮化钛tin，碳化硅sic，钛酸-latio3，钛酸钡batio3，钛酸-srtio3，钛酸镨prtio3，硫1化镉cds等真空镀膜材料。只要你把日常维护和定期维护做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大-低。生产效率也提高了。

3,设备保养和维修1重要的是讲究“细心”，每一个人都力求做到“我办事，你放心”，也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑!做好这一点可少走好多弯路，其次是要善于分析现象，不能盲目的拆卸。在长时间的加热过程中，镀膜机很难避免传感器为敏感的区域，导致薄膜的重大错误。说到这里，很多人都遇到过真空方面的漏气问题，真空部分出现了问题很麻烦，再加上我们公司没有检漏仪，这就要分阶段来找。

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多功能真空镀膜机

真空镀膜机工作时，需要先抽真空，使真空室处于真空状态，再进行镀膜；镀膜完成后，需要向真空室充气。8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰金银纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。现有技术中，真空镀膜机的充气管道直接与外界连通，容易把外界空气中的灰尘带入真空室，导致镜片上吸附灰尘，造成产品-真空蒸渡金属薄膜是在高真空条件下，以电阻、高频或电子加热使金属熔融气化，在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜，其中被镀金属材料用的1多的是铝，在塑料薄膜或纸张表面镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄或镀铝纸，在镀铝薄膜生产过程中对于真空条件是有严格限定的，真空度过高或过低都会影响镀膜的性能，目前，工厂里使用的镀膜机对于真空度的控制并不是很稳定，导致生产过程中产品的性能不够稳定，因此，解决生产过程中镀膜机里的真空度不易控制的问题尤为重要，而且内部镀膜物件的温度高，需要及时降温，提高工作效率。

真空镀膜设备真空泵的选择

正确地组合真空泵。第五，掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻，把时刻掌握好，-检漏仪器作业-，时刻少了，检漏作用必定差，时刻长了，糟蹋检漏气体和人工电费。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。另外，有的真空泵不能在-压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于-压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

正确地选择真空泵的工作点。此外，虽然qcm在低温下非常稳定，但温度高，它将成为对温度很敏感。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmhg下长期工作。

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的-真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度，选用的真空泵的-真空度至少要2mmhg，1好能达到1mmhg。通常选择泵的-真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。