衢州无尘室设备定位安装方案欢迎来电「卓宇泰」
无尘室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。2μm过滤器为之,一般洗涤周期视清洁度等级而定,在高洁净区为2~3天,其他区域则为5天~1星期,洗涤完毕干燥后应立即密封。无尘室系利用hepa、ulpa过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而无尘室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。无尘室内防止微粒子污染基本原则:排除/除去在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
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每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
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