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根据涂装废气的特点和环境保护要求,计划采用水浴清洗技术(旋流板塔)和活性炭吸附技术进行综合管理。涂装废气管理工程技术说明:涂装废气发生在涂装过程中,液体涂料在气压作用下形成雾化粉尘粒子状物和挥发三-等有机危害物,浓度高,粒径小,大部分在10μm以下,胶原涂料废气在水帘箱清洗后,对胶原涂料起到-的清洗分解作用,湿式旋流板塔进一步清洗处理后,进入活性碳吸附床,有机气体在活性炭吸附塔内被活性炭吸附,净化气体从外排气管高空排出。
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有机废气主要来源于光刻、显影、蚀刻和扩散等工序,在这些工序中用有机溶液(如)清洗晶片表面,挥发产生的废气是有机废气的来源之一:同时,在光刻、蚀刻等过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的,如-丁酯等有毒废气主要来源于晶体外延、干法蚀刻和cvd等工序,在这些工序中应用(sih4)、磷烷(ph3)、四-碳(cf4)、、-化硼等多种高纯度特殊气体处理晶体,部分特殊气体具有性、窒息性和腐蚀性。
中药生产废气主要是药材粉碎等工序产生的粉尘和制药过程中使用的vocs的挥发部分,如-等。制剂类用药活性成分和辅料混合、加工、配制,形成各种剂型。制剂按剂型分为固体制剂类、类和其他制剂类等。固体制剂类和类生产过程中废气污染源主要为粉尘。制药工业-污染物主要来源于化学的生产过程,前20种化学的产量占24种化学总产量的80%以上。因此,控制前20个品种的挥发性物质具有重要作用。
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