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特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的-产业,由于所用气体的品种多、要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的-产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上，并清洁连接软管。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20～30种。

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特气系统知识分享：标准气体

所谓标准气体就是用来校正测量仪器、评价测定方法、给出未知样品气标准值的气体。它分为调整零位用标准气体(零位气体)、监测环境用标准气、工业分析用标准气体、医1疗仪器用标准气体、可燃性气体泄漏用标准气体、燃烧器尾气用标准气体六大类。由于使用了标准气,所以即使在不同场所测定,也具有相同测定值。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。

标准气体应用范围很广,在化工、石油冶金、机械、航天、电子、陶瓷、汽车、光纤、激光、潜水、、切割、焊接、食品加工等工业部门均使用大量的常用气体和特种气体。其中在石油化工领域对标准气体的需求量相对较大。

电子特气管道系统---检漏检测规定

1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

---检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。