混合气体价钱之氢气总烃测定的方法原理是什么?下面就由【 郑州丰之茂工业气体有限公司 】带大家了解一下吧。
我国的气体中总烃的测定方法为氢火焰离子化法,目前绝大多数的实验室均采用此法。该方法的工作原理:样品进入离子化室后,在氢火焰的高温作用下电离产生阳离子,由于离子数与被测组分含量成正比,从而可确定其含量,由工作站或记录仪记录下相应组分的色谱峰。
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316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大-低。
另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking),则用于不做为供气管路的双套外管。在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。
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通常,粒子的粒径小到1微米的十分之几,便可造成断路。所以,防止粒子污染,在微电子技术中是十分严格的。
迄今,在纯净气体应用技术中,对于大流量高纯气体输送系统,美国已有输送含0.1μm以上粒子,每立方英尺气体中不超过10个的能力;它还为几个系统输送含有0.02μm以上粒子的气体,其粒子数每立方英尺不超过10个。
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