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真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、mbe分子束外延镀膜机和pld激光溅射沉积镀膜机等很多种。真空镀膜机对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，蒸发或溅射出的成膜材料是在一般磁控溅射条件下与待镀工件形成膜的过程。无论是金属、合金、化合物、陶瓷还是有机物，都可以气相沉积各种金属膜和介质膜，不同的材料可以同时气相沉积得到多层膜。

对于真空镀膜机设备而言，真空泵是获得真空环境不可缺少的一部分，制造商每次制造真空镀膜设备时都会搭配一个或多个真空泵。

真空镀膜机在选择如何选择真空泵时，应注意以下事项：

1.真空泵的工作压力必须满足真空设备的-真空和工作压力要求。

2.正确地选择真空泵的工作压力。每种泵都有一定的工作压强范围,

3.真空泵在工作压力下，应能排出真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4.真空泵的正确组合有选择性吸入，所以有时选择一种泵也不能满足进气要求，必须与几种泵结合，互相补充，才能满足进气要求。

磁控溅射镀膜机

各种镀膜技术都需要一个蒸发源或蒸发靶，以便将蒸发的成膜物质转化为气体。随着来源或目标的不断提高，电影制作材料的选择范围也大大扩大。无论是金属、合金、化合物、陶瓷还是有机物，都可以气相沉积各种金属膜和介质膜，不同的材料可以同时气相沉积得到多层膜。

蒸发或溅射出的成膜材料是在一般磁控溅射条件下与待镀工件形成膜的过程。膜厚可以测量和控制。磁控镀膜机的真空镀膜技术的特点主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀、真空束沉积和化学气相沉积。