无尘室设计多重优惠「清阳净化系统工程」

　　净化工程乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(hepa)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激1活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

　　净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　洁净隧道(clean

tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。如果上游的气溶胶浓度太高，粒子计数器无法检测，可通过稀释的方法来进行测量。ulsi制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：

　　a.弹性扩充容易;

　　b.维修设备时可在维修区轻易执行。

光学微电子净化工程解决方案:

　　4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点

　　b、室内空气参数要求 ：

　　(1)温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。

　　(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;-室内每人每小时的新鲜

空气量***40m3/h。

　　(3)送风量大。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，-之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是***25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是***15次/h)。

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