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-质谱检漏用-气的选择

-气是一种无色、无味的隋性气体。另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸枪检漏提供了-的条件。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液-气化为标准状态下的-气体积为700l。

-规定的瓶装-气按纯度高低分别为工业用-、纯-、高纯-三种。

1、工业用-：-含量***99%，露1点≤43℃.

2、纯-分三级：优等品-含量***99.995%；一等品-含量***99.993%；合格品-含量***99.99%。

3、高纯-分为三级：优等品-含量***99.9996%；一等品-含量***99.9993%；合格品-含量***99.999%。

-气在-质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用-，即-含量***99%，露1点≤43℃。

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-质谱检漏仪的校准方法

-质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过-质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

-质谱检漏仪原理:

-质谱检漏仪是一种以-气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

-质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

-质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过-质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下-漏率的校准方法。

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