气锁室按其压力和气流方向可分为：梯度式气锁室、正压气锁室、负压气锁室三种类型。其中梯度式气锁是常用的形式，用于不同洁净区之间的隔离，但不能阻止别区含产品空气的扩散。而正压气锁室和负压气锁室则既可用于分隔不同区域之间的气流，可有效阻止含产品空气从别区向低级别区的扩散，这种形式常用于-的气锁中。
气锁室从一种空气等级到下一个空气等级穿过气锁室、以及从已分级空间到未分级空间的正常压差，应为10pa。气锁室内部的压力应位于两个相邻空间之间的某个数值，具体该数取决于所打开的是哪扇门，洁净室与其气锁室之间的压差无需达到10pa。应穿过气锁室而不是每扇门测量气锁室的压差。因此，当某个气锁室只有一扇门被打开时，各空气等级之间即持续存在一个可测量的压降即***10pa。
液槽式送风口和液槽式百级送风单元在我国的上世纪80～9o年代就已开始技术吸收、开发和应用。但由于种种原因，一直以来，没有得到推广。
而近年来，新版-在-生产的区(如级区、a+b区等)，对空气净化的要求明显提高。同时，这几年在液槽密封技术中，对新型框架结构的研制开发、对新型液槽密封胶(俗称果冻胶)的研制和改良，使得液槽式送风口的使用量大幅度提高。逐步成为-级洁净环境主流的密封方式。
过滤器现场安装
液槽过滤器的现场安装，不同于普通过滤器的安装，这一点往往会忽视。
如果说上面所谈到的箱体、框架、过滤器等均没有问题，而安装不规范，不-，则仍然会有，因此找正规施工单位合作非常-，安装上更有保障。
净化工程安装人员必须经过培训，方能从事这关键的安装操作。
正确的安装方法
1安装时必须2人大规格的需要2人以上配合进行安装。
2安装人员应带手套，避免污染过滤器表面。
3箱体上设固定限位装置见图8。
4过滤器应举过头，水平而缓慢地沿限位装置向上推，切入液槽位置。
5固定过滤器时，收紧螺母受力要均匀和对称。
6对于百级框上的液槽过滤器安装，因其为上装式，较为容易(注意：框架上必须同样加设限位装置)。
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