激光分子束外延设备厂家的行业须知「沈阳鹏程」

电子束简介

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产电子束产品，欢迎新老客户莅临。

电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压25-300kv加速电场作用下被加速至---的速度0.3-0.7倍-，经透镜会聚作用后，形成密集的高速电子流。

电子束【释义】：又称电子注。在真空汇集成束。可采用静电场-,磁场-等方法。电子显微镜和电视机就是利用电子束形成影像的。

电子束蒸发镀膜机产品介绍

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产品配置：

★样片数量及尺寸： 1片φ8英寸或5片φ4英寸或伞形工件架用户定制

★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★蒸发腔体：高真空系统。

★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋转，转速可调

★加热：常规加热

★电子枪：e型，带xy偏转扫描

★电子枪坩埚：6穴，17cc

★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制

★清洗功能：可选配离子源清洗

★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤

★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪

★操作模式：全自动+半自动控制

电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍

1、系统自动监控和保护功能强，包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。

2、分子筛吸附装置，避免机械泵返油造成膜层污染，提高薄膜纯净度。

3、膜厚监测及控制系统，可在线监测及控制膜层厚度，膜厚仪与基片挡板联动，形成闭环控制。采用晶振膜厚仪

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电子束蒸发镀膜的优势

电子束蒸发的优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。

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