江苏汽车零部件压力容器检漏服务中心品牌企业「科创真空」

---质谱检漏器的主要性能指标

1.较小检漏率: 即---质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。

2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入---质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于---的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。

3.启动时间: ---质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间

---质谱仪的整体结构

质谱室

形象的说，质谱室是---质谱检漏的---，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀,然后开启放气键，后关电源。

真空系统

真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01pa的真空度，同时------离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是---的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。正压法---质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个---压力的---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围---环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围---环境中的---气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。

电气系统

---质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，---面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。

辅助真空系统的配置

在---质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、---检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的---影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常---的。

标准漏孔

使用---质谱仪的时候是否---质谱仪能通过自检，那就认为这台---质谱检漏仪是正常的呢？其实不然，---质谱仪能通过自检，只是说明，---质谱仪本身基本没有问题。但是，---质谱仪是否准确？这个不确定。