防静电
洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其的一个不可忽视的方面。
所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。
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乱流式 (turbulent flow)
优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再启动，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
垂直层流式：房间---完全以ulpa过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，---之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
洁净工程规范设计概算办法，确立设计概算须经过工程标准定额造价管理站和建行等审定，以确定的投资限额作为取费基数，这样可去除人为扩大设计规模与冒算的费用。
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