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无尘车间垂直层流式方向要保持均一气流必须:
(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;
(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目般超净间,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程设备、人员、超净间组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
万级无尘车间施工方案:
1) 无尘车间的彩钢板天花部分:洁净区域用双面彩钢板, 颜色用灰白,厚50mm夹芯;其它区域也可以做轻钢龙骨石膏板或铝扣板天花,600*600mm.
2) 无尘车间的彩钢板隔断部分:用双面彩钢板围护及间隔、包柱,围护面到天花顶;洁净走廊及车间间隔处做铝材玻璃窗,窗台高900mm, 玻璃厚5mm, 宽度2000,高1000mm;双开门高度(2100mm)宽度,(1600mm),铝材窗料用净化材料,45度斜边,与地面及天花交角做元弧及阴角接口,符合规范及卫生消毒要求、整体光亮、易清洁、不易染尘。7)人员进入无尘车间前的人身净化,设换鞋、一、二次更衣、洗手、烘干、手消毒及风淋门等区域。
3) 无尘车间的单开门:800x2100mm,上做玻璃观察窗,装球型通道锁。
4) 无尘车间的地面:原水泥地面需经平整处理后做2mm厚环氧树脂epoxy面层,耐磨耐压; 其他区域可做厚0.5mm环氧树脂滚涂层;颜色为绿色。无尘清洁明亮,易清洗,卫生,不积尘菌,或铺设pvc防静电地板。
5) 无尘车间柱子:柱子用彩钢板隔断材料用外圆柱铝材全包边。
6无尘车间 照明、配电:用不锈钢边吸顶式无尘净化灯盘40wx2,工作区>;300lux,过道区>;100lux;无尘间设紫外线杀菌灯,与照明灯具分路设计。用铁线管暗敷。符合防火及用电规范。
7) 人员进入无尘车间前的人身净化, 设换鞋、一、二次更衣、洗手、烘干、手消毒及风淋门等区域。
8由送排风组成的空气循环系统---了室内空气的清新和洁净。由水冷或风冷机组加增压风柜含初中效过滤,经镀锌风管,末端加高1效过滤送风口,---空气的洁净度。
高1效过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行,同时建议在无尘车间风量平衡及正负压调试以后进行,新建成的无尘车间或更换终端高1效过滤器后均应作检漏测试。
《洁净室施工及验收规范》下简称规范第 3.4.4条,有“经检查和检漏合格的应立即安装”,指现场检漏合格以后,再安装高1效过滤器,事实上很难具备这样的检漏条件。不可能做到,而根据规范附录六的要求是安装后进行高1效过滤器的扫描法检漏。
检漏时,从高1效过滤器的上风侧引入气溶胶,并同时在高1效过滤器的下风侧进行扫描检漏,以检漏高1效过滤器的过滤介质,密封胶过滤器框架,密封垫片等处有无泄漏。
这里暂不讨论无尘车间管道内及空调器内的高1效过滤器检漏,只对安装在无尘车间终端及相关净化设备内的高1效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。
无尘车间等速采样
在有速度的气流中采样,采样速度应等于气流速度,否则采样浓度将大于或小于真实浓度,即气流速度大于采样速度,采样浓度将大于真实浓度,反之,气流速度小于采样速度,采样浓度将小于真实浓度。
每个测点实际获得时间 ts=dp/sr=1 s
所以,采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、k 值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。管道的设计与净化室的大小相关,与送风量大小相关,与净化要求相关。---需要-的是,如采用 28.3 l/min 的粒子计数器和 2.83 l/min 的粒子计数器,他们的扫描速率可以相差十倍,也就是讲,每检测一个过滤器的时间也相差十倍。
洁净室无尘车间 规范要求扫描速率为 5 ~ 20mm/s ( 其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的,一般建议采用 28.3 l/min 的粒子计算器,扫描速率在 30 ~ 5mm/s 左右 )。
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