爱德华真空泵厂家供应-「明胜机电」

爱德华真空泵轴承的检修标准

   爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。

   拆卸轴承应使用工具，安装时不得用锤直接敲击轴承，需敲击时必须垫以软金属。

   装配轴承时，应先检查轴承、配合尺寸偏差等是否符合要求。

   轴承内圈端面应与轴肩靠紧

   轴承采用加热安装时，加热可采用油浴，油温不超过100-120度，轴承油浴时间10-15min，严禁用火焰直接加热轴承。

爱德华e2m80真空泵维修的6个流程

1.确认问题如有需要，会在24小时内排出---人员赶赴现场确认爱德华真空泵故障

2、取泵维修在故障确认后精捷会给出具体维修周期、维修方案和可达到的效果并取泵                                        

3、拆开报价为了让客户更清晰的知道维修费用，明胜把维修费用细分化、合理化            

4、确认维修客户同意维修费用后开始维修，维修时刻现场观摩，维修后所换配件原封不动送还客户                                        

5、试机确认---维修过后达到真空度和稳定性能，真空度达到出厂标准                  

6、送泵安装在试机ok后24小时内，客户可当初验收真空泵，看试机运转效果                

7、定期维护保修3个月内会不定期的回访，3个月后会有专门的售后人员---维护

半导体加工我们继续---技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的---拥有成本要求。

所有居于---的制程工具 oem，以及全球每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。如果制程主要使用可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要---可以将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷即晶圆的图案形成是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (euv) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。edward可以让您有效应对这两种应用。

euv 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 euv 平版印刷，因为轻型 euv 系统 提供极短的波长。idx系列干泵抽速1000-1300m3／h，---真空10-2mbar三、机械泵油封旋片泵edwards推出台双模式rv系列真空泵。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 euv 平版印刷 oem 和光源 oem 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 ---性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于---系统的精密性 和长正常运行时间---。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (tmp) 以便 在您的制程工具上实现真空。爱德华真空泵维修保养要求运行中的维护各部件必须在润滑油的润滑下运行。我们的 stp 系列 tmp 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。