天津生物样品电镜分析-「九鼎」

扫描电镜图片如何分析

1、扫描电镜照片是灰度图像，分为二次电子像和背散射电子像，主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。

一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情况需要对比分析。

背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况，越亮的区域，原子序数越高。

2、看表面形貌，电子成像，亮的区域高，暗的区域低。非常薄的薄膜，背散射电子会造成假像。导电性差时，电子积聚也会造成假像。

台式扫描电镜观察厚试样

　　台式扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌扫描电子显微镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在比较厚样品的观察时，由于透射电子显微镜也采用层压法，层压的分辨率通常只有10nm，而且观察的不是样品本身。因此，用扫描电镜观察厚样品，获得样品的真实表面数据更为有利。

　　台式扫描电镜观察试样区域细节

　　试样在样品室中可动的范围非常大，而显微镜在其它方面的工作距离通常只有2-3cm，因此实际上，只有试样可以在二维空间中移动，但在台式扫描电子显微镜中是不同的由于工作距离大可能大于20 mm焦深大比tem大10倍样品室的空间也很大因此，试样在三维空间即三维平移、三维旋转可以有六个自由度的运动而且具有较大的活动范围，便于观察不规则形状样品的各个区域。

扫描电子显微镜是一种利用高能-电子束扫描样品表面

扫描电子显微镜是一种利用高能-电子束扫描样品表面，从而获得样品信息的电子显微镜。所以其使用电子束为照明源，电子束在样品表面扫描，利用电子和物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要依据分辨率和有效放大倍数。分辨率即能够分辨的小距离。

电子光学系统主要是给扫描电镜提供一定能量可控的并且有足够强度的、束斑大小可调节的、扫描范围可根据需要选择的、形状对称的、稳定的电子束[1]。主要由4 部分组成：电子、电磁透镜、物镜光阑、扫描线圈。

电磁透镜的作用是把电子的束斑逐渐缩小,其由极靴和铜线圈两部

电磁透镜的作用是把电子的束斑逐渐缩小，其由极靴和铜线圈两部分组成，通过改变流过铜线圈电流的大小来改变透镜汇聚电子束的能力，在电子运动过程中，只改变速度的方向不改变速度的大小。物镜光阑用于选择电子束的孔径角，控制束流大小和调节景深，如图4 所示。在使用过程中根据实际需要，一般大光阑对应低分辨率和大电流，小光阑对应高分辨率，在光阑主轴上安装不同孔径的光阑，有旋钮调节方向。