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电力真空箱检漏系统- 北京科仪-公司

发布者:北京科仪创新真空技术有限公司  时间:2022-1-5 






---质谱检漏仪的主要配置

科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;真空环境模拟设备等-产品。今天科仪的小编就和大家分享一下---质谱检漏仪的主要配置有哪些,希望对您有所帮助!其中正压吸枪法采用检漏仪吸枪对被检产品外表面进行扫描探查,可以实现漏孔的准确定位。

1. 检漏仪---分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪---电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱---模块

以上是科仪为您一起分享的内容,科仪生产---检漏,欢迎新老客户莅临。





---质谱检漏仪的进展

经过近半个世纪的努力,今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

集中体现在如下几个方面:

1便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

2高压强下检漏:检漏口压强可---数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。

3自动化程度高:自动校准---峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

4全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。

5检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。

分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。

例如:瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的,且提高检漏灵敏度。

另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了---的条件。






检漏仪使用中注意事项

检漏仪在使用过程中需---注意以下几点:

使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,---时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(ups)。

仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。

检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。

本文介绍了5 种检漏仪常见故障的分析与处理方法,其中仪器内部存在泄漏环节是一个易被忽视却又易产生故障的环节,当检漏部位的复检结果不一致时,就需检测仪器内部是否有漏。检漏仪内部结构紧凑,定位难度大,本文采用切断分子泵风扇电源和使用小流量喷枪的方式,提高了密封部位定位的能力。检漏仪是检漏工作的---部件,在使用过程中应严格按照说明书的操作要求进行使用。文中以上出现的故障、现象的处理方式是本单位在多年使用过程中的一个总结和归纳。对检漏---具有一定的参考价值。背压法的检漏标准主要有qj3212-2005《---质谱背压检漏方法》、gjb360a-1996《电子及电气元件试验方法方法112密封试验》,主要应用于各种电子元器件产品检漏。

今天和大家分享的是检漏仪使用中注意事项,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话或访问科仪网址,科仪竭诚为您服务!





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