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真空镀膜、真空干燥、表面处理:在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着---的作用。
往往很多用户忽视了它的保养,真空泵跟其他机械设备一样需要日常的保养才能---的发挥它的性能,我们在保养时需要注意一下几个问题点:
1、定期观察真空泵油颜色,若颜色成褐色、黑色、乳白色、稠状就必须进行保养。
2、真空泵发生异常噪音,需停止泵运转,检查泵产生噪音的原因。
3、内置真空泵油雾分离器,要及时定期更换,一般2000小时就要更换一次,防止油雾分离器失效而造成泵排气口冒烟等现象发。
干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵系列下的设备,具有---性高、---、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用,包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等,这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业,约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此,应加强国产干式真空泵的研发,使之成为我国真空行业新的经济增长点。
1、吸程太高,检查现有的净压头。
2、系统水头太高,检查系统的水头---是磨擦损失。
3、真空泵机组没有注水或没有适当排气,可以检查泵壳和入口管线是否全部注满了液体。
4、真空泵机组叶轮直径太小,向厂家咨询正确的叶轮直径。
5、压力表位置不正确,检查位置是否正确,检查出口管嘴或管道。
6、底阀或入口管浸没---不够,可以向厂家咨询正确的浸没---或用挡板消除涡流。
7、速度太低,检查电机的接线是否正确,电压是否正常或者透平的蒸汽压力是否正常。8、空气或入口管线有泄漏,检查入口管线有无气穴或空气泄漏。
造成真空泵机组压力低的原因既有设备自身的原因,也可能和人为操作不当有关,所以要想---设备能够稳定运行,先一定要避免人为的不正确操作,其次对设备平时做好保养维护工作。
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