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电子束简介

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电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压25-300kv加速电场作用下被加速至-的速度0.3-0.7倍-，经透镜会聚作用后，形成密集的高速电子流。

电子束【释义】：又称电子注。在真空汇集成束。可采用静电场-,磁场-等方法。电子显微镜和电视机就是利用电子束形成影像的。

电子束镀膜机部件介绍

镀膜室：

采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。对粒子增速器的粒子运行管道来说，为了减少粒子在运动中与残余气体碰撞而造成粒子的丢失和束流性能变坏，所要求的真空度比显像管要高数千到数万倍。镀膜室尺寸φ450×h600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块材质：304真空不锈钢， 厚度***1 mm,镀膜室及前开门材质：304真空不锈钢，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室包括抽气管道、连接法兰等均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。

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电子束蒸发镀膜设备介绍哪些性能？

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真空测量：采用数显复合真空计两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空, 测量范围为1×105pa —1×10-5pa。

断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。