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水环真空泵维修- 厦门太星机电

发布者:厦门太星机电有限公司  时间:2022-3-2 

厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修---团队组成,公司提供国外及国内厂家生产的真空泵,检漏仪,分子泵,扩散泵,水环真空泵,螺杆真空泵,罗茨泵,真空测量,真空泵油及其备品备件。

扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为---真空镀膜机的正常稳定运行,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与保养知识。

扩散泵工作过程中冷却水必须---畅通,停止加热后必须---泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。

被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。



扩散泵系统的压强不稳定的原因,有内部和外部之分。泵外的原因有:来自橡胶垫圈的气泡;从障板上滴落下的泵油;高的前级耐压;阱除霜;阱内冷冻层的。泵内的原因有:泵油爆沸或沸腾不稳定;在导流管外部油的沸腾;轻气体的低压缩比;喷咀内的液滴;顶喷咀变冷蒸汽冷凝;锅炉附近泄漏,泵体要检漏。



锅炉内泵油的不稳定沸腾,会使喷出的蒸汽射流的密度波动,从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热,使之有一段爆沸的时间,其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉,增加内表面积,降低热流密度,增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中,强力的爆沸,会引起---升腾,对喷咀,引起瞬间堵塞,造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响,因对轻气体压缩比低,可引起压力的不稳定,增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器,可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续,导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降,不使其过冷。来自橡胶密封的气泡,有时油捕集气体,通过密封胶圈渗透放出,因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出,可使不稳定减少,若用金属垫圈就---了。设计---的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时,操作不当,扩散泵系统有发生的危险。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范,定期检查泵油的质和量。





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