ULVAC分子泵维修说明分子泵工作原理「潽拓光电」

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磁场屏蔽出现的问题

旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子-，将产生如下问题：、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；、由于-会减弱铝材料的强度，造成碎泵；、转子-，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30gs。原则上，大于30gs应使用导磁材料屏蔽。

分子泵启动的条件：、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度、启动时间：同时启动——小系统，防前级泵油上返。-启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强p=200pa时，启动分子泵。从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发，通过实验讨论分子泵转速对-质谱检漏仪检测结果的影响，并分析产生这种结果的原因。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高真空和真空环境。

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实验与分析-质谱检漏仪工作在不同的分子泵转速下，在仪器的检漏口连接标漏信号，检测-质谱检漏仪在不同分子泵转速下，所获得的信号值。

实验器材：

(1)-质谱检漏仪sfj-231,1台；

(2)渗-型标准漏孔3.0×10-10pa.m3/s),1只；

(3)渗-型标准漏孔1.5×10-pa.m/s),1只；

(4)标准漏孔tl4-6,1只。

实验步骤：

(1)开启-质谱检漏仪；

(2)仪器进入检漏状态运行2h后；

(3)仪器按下停止键，仪器进入待机状态(4)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500hz；

(5)待仪器进入待机状态

(6)将渗-型标准漏孔(3.0×100pa.mys)连接在检漏口；

(7)检漏仪按开始键，检测仪器的显示值，并记录；

(8)仪器按下停止键后按下开始键，再次检测仪器的显示值，共记录3次数据(9)仪器在待机状态，进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1000hz；

(10)重复7、8步骤；

(11)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500hz；

(12)在仪器检漏口连接渗-型标准漏孔(1.5x10*pa.ms)1只；

(13)重复7、8、9、10步骤(14)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500hz；

(15)在仪器检漏口连接标准漏孔tl4-6(16)重复7、8、9、10步骤。

(16)重复7、8、9、10步骤。

近日，真空推出了寿命更长、振动更小、噪声-的新型涡轮分子泵，同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵-适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的分子泵

高度-的新型涡轮分子泵：安全、-、抗老化、体积小巧。在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可-始终发挥很佳性能，保障其-运行安全性。在轴承方面，的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且-的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。

坚固-的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高-性。此外，相较于其他涡轮泵，体型小巧紧凑，可集成到各种便携式和移动式应用中。同时，该泵还具备自动配件检测功能的micro-usb接口，在短短几步之内即可投入使用，为用户带来便捷和高的效的使用体验。