净化实验室工程服务为先「多图」

无尘车间硬件设施的维护管理

1.无尘车间保持适当的正压(>; 0.5mmaq)，防止洁净系统漏风。人员、设备和原材料进入无尘车间前，应做好清洁、擦拭等防尘工作，并妥善管理和设置空气过滤器。

2.防止室内粉尘产生:注意无尘车间材料的正确选择，如隔板和地板；制造设备的防尘、生产自动化和人员不---、清洁服装的管理、无尘车间设备的使用等。

3.室内灰尘不堆积:墙体应光滑无死角，无尘车间应定期维护和清洁，工艺设备周围应留有空间。

4.发生尘埃立即排除。

无尘车间正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了---无尘车间正压值，送风、回风和排风机1好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机;系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止无尘车间在系统开启和关闭时受到污染。

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、esd、amc控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度---特点。

无尘车间的温湿度测试的具体要求从下面反映：

无尘车间温度测试有功能度测试和一般温度测试。以上车间的温湿度标准适用于大部分行业，但也仅仅作为参考，并不具有决定性，无尘车间温湿度标准还要看具体的行业以及环境等因素。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用；一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。而且1好就是在进行调试，气流均匀性测试时完成。无尘车间功能温度测试，应将无尘车间工作区划分为等面积的栅格，1好每个分格面积不超过100平方米，也可以与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。无尘车间温度测试需要在净化空调系统连续运行24h以上之后再进行。