无尘室设备定位安装方案在线咨询「卓宇泰」

     复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道clean tunnel：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ulsi制程大都采用此种型式。空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器hepa进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。

      无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

　  气流是控制洁净度与温湿度的主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在无尘室测试的步。无尘室主要之作用在于控制产品如硅芯片等所接触之---的洁净度日及温湿度，使产品能在一个---之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的---，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。

   (1)ffu用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。

   (2)洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率时，对大的系统采用ffu，当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。

   (3)对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多，但对ic工厂而言ffu系统的灵活性是重要的，因此当前ic工厂对过滤器满布率≤40%时，采用ffu系统已经普遍。

    清洁室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、防静电鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件，且其布料为不燃、不起毛，其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质，另外经过摩擦不产生静电或带电性非常，洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。---要---气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。头罩材质为无尘纸或无纤纸制成，帽子材质则与洁净衣同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛或脸表---分外，其他部分均须包覆，在头部部分连接上衣处也必须完全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。

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