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洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在-集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
3.食品厂净化工程
食品行业的净化工程解决方案应用于、食品饮料加工、食品包装材料生产等。由于空气中无处不在的微生物,我们每天吃的牛奶、蛋糕、饮料等食品都容易变质。食品无菌车间没有直接用于食品,但使用净化设备存储在低温,高温消毒,脱水,干燥,和泡菜消毒和灭菌的方法,如辐射、过滤掉空气中的微生物,达到无尘、无菌性的影响,完全保留了原来的味道和营养的食物,并---了食品的。
二、关于更衣区压差监测:
由于更衣的后段(穿洁净衣+气锁) 的洁净级别与生产区相一致,所以这两个区域必须监控其压差, 故压差计将设置在这两个房间与其他区域之间。 另外根据洁净与非洁净区压差必须大于10pa 的要求,该区域与其更衣前段区域的压差值应该大于 10pa。
三、关于退出通道设置:
洁净度要求高的100级无尘车间按 --- 第 32 条的规定, “---时,可将进入和离开洁净区的更衣间分开设置” 。 退出通道的气流方向、洁净分区、压差控制等见典型更衣布置图。
对洁净度要求搞的10无尘车间生产,如高致敏性、高活性、高毒性、或 ld50 很小的制---,如需要------暴露生产区的空气---,在更衣区域要设置退出通道并且通过负压阱,以阻隔生产区气流。
对于普通1000级无尘车间,退出通道可类似梯度气锁设计。而对于洁净度产品,为了避免含产品空气通过梯度气锁向外扩散,应设置负压气锁,以将含产品空气隔离。
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