洁净室气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、pfa 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。测量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 flo-viz ，是用尼龙---单丝所制成，由于很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是测量细线与铅垂线的夹角，就可决定气流的平行度。
洁净室检测压差的仪器
1.曲管压差计是一种既简单而压差测值适应范围又相对较宽的液体微压计。它利用液体管的曲率变化替代斜管压差计的倾角变化，以便于在较宽的范围内测定微压差，而构造较为简单。当测定的微压差较小时，恰处于曲管斜率较小的直管段。随着被测压差的增大，被测值显示在曲率变化的曲管段。被测压差时，被测值将显示在斜率很大的直管段上。常将它挂在洁净室墙上或空气处理机组靠近空气过滤器的外壁上，以监测洁净室内外或空气过滤器前后的静压差。
2. 弹性气压计是利用物体弹性制造的气压计。弹性气压计种类繁多，应用范围非常广泛。通过测定与齿轮或磁链相连的指针因隔膜位移而偏转的距离，来测量两个区域的空气压差。弹或膜片压力计属于机械式压差计。因存在压差使弹簧管、弹变形或膜片位移，根据其变形量、位移量与所测压力差存在的函数关系为原理制成。通过杠杆机构，将变形量传递给指针，或通过磁性变化将膜片位移量传递给指针，以指示压差量。弹性压力表工作原理是通过表内的敏感元件的弹性形变作为测量的基础，再由表内机芯的传动机构将压力形变传导至指针， 引起指针转动来显示压力。图 2-38 给出了弹簧管、弹压力计工作原理图和某种通过磁性传递隔膜变化来指示压力的微压计外形。
洁净室压差检测
1.u 型气压计由于形状像英文大写字母 u 字而得名。实际上 u 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后，一头与---连通，另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的---压数值，就可以得到被测的气压值。
2.斜管微压计可以理解为 u 型压力计的变形。一般情况，u 型压力计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的度较高。所以与 u 型压力计比较，斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示，斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性，它在 a 角较小时，微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化，都能从 l 值的变化灵敏的辨认，因此常用于测微压差。
3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值，如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化，测定一个空间与其周围环境间的压差值，并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于，它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差；不同之处在于它不是依据机械方式，而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。
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