1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统 高温接触角测试仪

天津中环电炉股份有限公司
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产品用途：
产品性：
pecvd系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成：
pecvd系统配置：
1.1200度开启式双温区真空管式炉
2.等离子射频电源
3.多路流量控制系统
4.真空系统可选配中真空或高真空
产品特点：
生长温度低；沉积速率快；成膜---，适用范围广，设备简单。





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