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真空镀膜加工中频磁控溅射

无论平衡还是不平衡，如果磁铁是静止的，其磁性决定了现有材料的利用率通常小于3。为了提高靶材的利用率，可以采用旋转磁场。然而，旋转磁场需要一个旋转机构，并且应降低等待速率。

用磁控靶源溅射金属和合金容易，点火和溅射方便。这是因为目标、等离子体和飞溅零件的真空腔可以形成一个电路。但是，如果溅镀陶瓷等绝缘体，电路就会断开。

真空镀膜加工的科学蒸镀

真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩，并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统，通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室，底盘上有真空测---的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*pa以上,采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的，它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝的上

       真空镀膜涂料是真空镀膜技术不可或缺的重要材料之一。它既可以做底漆，又可以做面漆。作为底漆，它可以提高光亮度和镜面反射效果，起到提高铝膜和底材的附着力以及封闭底材等作用。作为面漆，它可以提高镀膜层的耐磨性、耐腐蚀性和耐候性等，还可以使镀膜层着色，使镀件反射出五光十色的金属光泽。可以说，没有真空镀膜涂料，真空镀膜技术就不可能得到发展。