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扬州金属腐蚀清洗询价咨询 苏州晶淼半导体

发布者:苏州晶淼半导体设备有限公司  时间:2022-8-30 






       苏州晶淼半导体设备有限公司,我们的每台设备除标准化制作外,还可根据客户的工艺需求和工作环境的具体要求,对设备进行人性化、个性化设计,---限度的将客户的想法转化为实际应用。能完全满足规模化生产和研发需求。

苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、pp/pvc通风柜/厨、cds化学品集中供液系统解决方案。我们的产品广泛应用与微电子、半导体、光伏、光通信、led等行业及---院校、研究所等等科技领域的生产和研发。 我们的每台设备除标准化制作外,还可根据客户的工艺需求和工作环境的具体要求,对设备进行人性化、个性化设计,---限度的将客户的想法转化为实际应用。能完全满足规模化生产和研发需求。 天道酬勤,商道酬信!---的产品是我们的---,超客户预期是我们的自我需求,真诚守信是我们的原则,我们的目标是提升中国湿制程设备制造水平和服务!




    rca清洗附加兆声能量后,可减少化学品及di 水的消耗量,缩短晶片在清洗液中的浸蚀时间,减轻湿法清洗的各向同性对积体电路特征的影响,增加清洗液使用寿命。

苏州晶淼半导体设备有限公司

可根据客户的工艺需求和工作环境的具体要求,对设备进行人性化、个性化设计,---限度的将客户的想法转化为实际应用。能完全满足规模化生产和研发需求。 天道酬勤,商道酬信!---的产品是我们的---,超客户预期是我们的自我需求,真诚守信是我们的原则,我们的目标是提升中国湿制程设备制造水平和服务!




清洗流程的操作规范:

(1) 用(ace)、异bing醇(ipa)、去离子(di)水依次进行超声清洗超声设备内槽、烧杯、花篮、卡塞及样品盒;

(2) 在二个超声设备的内槽分布倒入 2000 - 4000 ml的和异bing醇溶液,具体的溶液体积由内槽的容积来定,---溶液水平面在花篮上平面以上;在一个烧杯中倒入2000 ml溶液;记录溶液更换日期,按每2000 ml溶液清洗250片晶片的要求规划溶液的清洗次数;

(3) 将晶片用花篮盛放并将其置于内槽中,设置超声的温度60°c,并计时超声清洗晶片10分钟,用盖将内槽封闭,并记录溶液累计使用片数;

(4) 将放有晶片的花篮取出冲水5分钟;

(5) 将花篮置于异bing醇中,设置溶液温度60°c,记时超声清洗晶片10分钟,用盖将内槽封闭,记录溶液累计使用片数;  (5) 将放有晶片的花篮取出冲水5分钟;

(6) 将放有晶片的花篮置于已配制好的---(共1200 ml,h2so4 : h2o2 =3:1)溶液中,计时10分钟,并记录溶液使用累计片数;保持溶液的温度为90°c。如果溶液不是新配溶液,需向溶液中按溶液的1/3加入溶液;

(7) 将放有晶片的花篮取出冲水5分钟;

(8) 将晶片从花篮中取出,放置到te制的卡塞中,将放有晶片的卡塞置于兆声波设备内槽中,在60°c兆声清洗10分钟; 

(9) 将放有晶片的卡塞取出冲水10分钟; 

(10) 将放有晶片的卡塞放入甩干机中,烘干。





超声波清洗机的日常保护与保养


    1、维持清洗机的任务场合的通风、枯燥、干净,有利于装备的临时·运转及优化任务环境条件;

  2、洗净液过于龌龊时应及时处理,活期清洗槽、贮液槽内污垢,维持洗净槽内及外观的干净,可进步洗净槽的---性;

  3、电气掌握箱及装备通风口远离水蒸汽、侵蚀性气体、粉尘,活期用收缩空气附着的灰尘;

  4、活期测试装备的绝缘性能,超声波清洗·于易老化电气组件活期检讨,检讨接地线,---装备---接地此名目须由具备经历的电工进行,;

  5、活期测试电源,确认契合装备的电源电压请求,避开在过高或过低的不稳固电源下临时任务;

  6、带有过滤安装的装备,活期改换过滤芯;清洗机同时供给滤芯超声波清洗机。

  7、带有传动机构的,应按请求活期加注黄油、机油等光滑剂,活期改换加速机齿轮油,---静止机件在---光滑条件下任务;







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