爱德华干式真空泵厂家服务周到「明胜机电」

概述

eh 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于---压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度---。

应用

半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、co2 激光

功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的---性。

eh 泵具有高的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

---的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用---级铸铁制造。

经验证的轴封布置可---没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。

轴封的设计经过优化，可---润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是---技术设备的制造商所需要的。

订购信息

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英国爱德华rv12油封旋片泵 功能，同时具备高真空和高吞吐量性能，---的噪音级别和卓气囊装置，使其成为广泛适用于各种应用和环境的理想产品.爱德华 rv3、rv5、rv8、rv12 油

封式旋片真空泵，edward真空泵，edward rv 泵装有 ultragrade 19 号油。这一油品

通过一系列添加剂专门调配，可提供高于任何其他矿物油的真空性能。正因如此，它既能提供受

到极严格控制的蒸汽压力，又具有极强的抗水化能力，可实现较长的使用寿命。

适用于锂离子电池制造设备的全球真空泵制造商锂离子电池正在推动全的议程，---的高真空是其制造过程中的关键因素。我们有一系列适合所有电池制造需求的泵，这些泵由全球服务和支持网络提供支持。 油封旋转式叶片泵：

低成本干泵：

可减少维护成本并降低环境影响智能泵：

高控制功能atex 版本：

安全操作

惠州市明胜机电设备有限公司制造销售各种真空泵，并提各类真空泵维修保养服务罗茨，螺杆，旋片式，干式，水环式等真空泵维修保养以及各类进口真空泵配件耗材。服务品牌：普旭博世、里其乐、莱宝、贝克、爱发科、爱德华、大晃、斗一，阿尔卡特等进口真空泵。我们的泵设计具有可选的温度设---和高旋转速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免发生的总体材料损失速率。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (cvd) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用---之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。含氧成分高的工况，旭选用特殊的真空泵油，如合成油等当没有合适的---油，可选择汉族要指标黏度相近的真空泵油替代，当规定的规定的真空泵油到货后，应马上更换替代油品。

干泵选择

cvd 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能---粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以---泵在应力下保持 旋转。加入添加剂后，ultragrade?油可---真空性能、热稳定性和氧化稳定性，不易生锈。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要---可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 cvd 制程，需要在温度设上 达到平衡，以---避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。拥有10年以上各类进口真空泵技术，真空泵系统订制，真空泵维修/保养。