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洁净间检测报告来电咨询 北京慧宇昊

发布者:慧宇昊(北京)检验检测中心有限公司  时间:2022-9-7 






洁净室气流流向检测

一、 测试目的

平行度测量的目的,是观察在工作区域里面气流的运动模式,同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行,过早进行可能得不到正确的数据。

二、 测试方法


一般而言平行度的测量,是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、pfa 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小,烟雾可随风飘扬,可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足,观测时间太短。测量平行度需要花一些时间,因此需要大量烟雾或水雾,对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线,让细线随风飘舞,然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 flo-viz ,是用尼龙-单丝所制成,由于很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线,然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线,之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角,或是测量细线与铅垂线的夹角,就可决定气流的平行度。



洁净室检测静电检测

一、测试目的,静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序,于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处,测量该位置之空气中正离子与负离子的含量,单位是每立方厘米离子数。测量点数: 10 个,或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。



洁净室检测的压差

正压差值并非是越大越好,许多理论研究和实践都证明,人员物料通过门时,即便门两侧关门压差- 1~1pa,仍难避免随人员、物料向内移动时携带气流将污染带入室内。-是当门两侧存在温度差别时,门敞开后,即便无人走动,在开口断-分面积上也存在逆向气流,带入空气的悬浮污染物。此外,过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严,门缝气流造成哨声噪音,以及因气流外溢过量而补风量增加,浪费能源和加重各级过滤器负担。




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